00 - Uвых= -650В
В - Uвых= -750В
V - Uвых= -900В

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-141» 

Основная область применения – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения функциональных покрытий и очистки поверхностей. Блок «ИВЭ-140S» предназначен для питания стабилизированным напряжением, током или мощностью магнетрона распыления, и подачи «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия в вакуумной камере. Блок имеет выходные цепи с отрицательной полярностью потенциальной цепи и гальванически изолированными от корпуса блока и других цепей. Блок оснащён оптоизолированным последовательным цифровым интерфейсом внешнего управления «RS-485».

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-146» 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....300~3000

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,03÷7

Напряжение "поджога" разряда, В.....-1250

Максимальный ток дугозащиты, А.....15

Частота коммутации, кГц.....1~40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....3500

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 143

Напряжение питающей сети.....380В-15%+10%, 4862 Гц

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания магнетрона распыления «ИВЭ-144» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Максимальная выходная мощность, Вт.....1000~3000*

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,03~4,6*

Напряжение "поджога" разряда, В.....-1180~-1280

Максимальный ток дугозащиты, А.....12~16*

Частота коммутации, кГц.....4÷40 / 6÷60*

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1300~2500*

Масса блока, кг.....14~18*

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 143

Напряжение питающей сети.....220В-15%+10%, 4862 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения

Выходная мощность регулируемая, Вт.....600~6000

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,5~15

Напряжение "поджога" разряда, В.....-1250

Максимальный ток дугозащиты, А.....40

Частота коммутации, кГц.....2~40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7000

Масса блока, кг.....19

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 143

Напряжение питающей сети.....380В-15%+10%, 4862 Гц

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-145»

04 - Pвых= 1000Вт (2 выхода)
03 - Pвых= 1000Вт
02 - Pвых= 1500Вт (2 выхода)
01 - Pвых= 1500Вт
00 - Pвых= 2000Вт
Н - Pвых= 3000Вт

00 - Pвых= 300÷9000Вт
Н - Pвых= 300÷11000Вт

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-143» 

00 - Uвых= -650В
В - Uвых= -750В
V - Uвых= -900В

ПлазмаТех

Возможны разработка и изготовление блоков питания магнетрона распыления с различными
выходными характеристиками по Вашему техническому заданию.

Без индекса - параллельный оптоизолированный последовательный
цифроаналоговый интерфейс управления
S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485»
SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью
D - для построения дуальных систем

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-145» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного распыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий. Блок работает совместно с блоком дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-190».

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-144» 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....300÷900~300÷11000*

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,5÷20~0,5÷27,5*

Напряжение "поджога" разряда, В.....-1250÷-1300

Максимальный ток дугозащиты, А.....60

Частота коммутации, кГц.....2~40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....10600~16000*

Масса блока, кг.....19~25

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-15%+10%, 4862 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения

00 - Uвых= -650В
В - Uвых= -750В
V - Uвых= -900В

Без индекса - оптоизолированный последовательный цифроаналоговый
интерфейс управления
S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485»
SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью
G - жидкостное охлаждение "ключа комутатора"
D - для построения дуальных систем

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-141":

ИВЭ-141-ХХ-Y-ZZZ

00 - Pвых= 200÷4500Вт
Н - Pвых= 300÷6000Вт

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-143":

ИВЭ-143-Y-ZZZ

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-144":

ИВЭ-144-ХХ-Y-ZZZ

приносим инновации в ваши технологии

Основная область применения источника вторичного электропитания — в составе вакуумно- технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, очистки и травления поверхностей, требующих повторяемости конечных результатов. Блок питания «ИВЭ-143» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного распыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий.

Выходная мощность регулируемая, Вт.....200÷4500~300÷6000*

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,5÷10~0,5÷15*

Напряжение "поджога" разряда, В.....-1180÷-1280

Максимальный ток дугозащиты, А.....30~40*

Частота коммутации, кГц.....2÷40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....5900~7100*

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 143

Напряжение питающей сети.....380В-15%+10%, 4862 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения

00 - Uвых= -650В
В - Uвых= -750В
V - Uвых= -900В

Блоки питания с внешней дугозащитой
однополярных и дуальных магнетронов распыления

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Без индекса - оптоизолированный последовательный цифроаналоговый интерфейс управления
S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485»
SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью
G - жидкостное охлаждение "ключа комутатора"
D - для построения дуальных систем

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-145":

ИВЭ-145-Y-ZZZ

00 - Uвых= -650В
В - Uвых= -750В
V - Uвых= -900В

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-146":

ИВЭ-146-ХХ-Y-ZZZ

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-140S» 

Блок питания «ИВЭ-143» представляет собой источник вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающим на частоте преобразования 45¸55кГц. Блок основан на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых сетью от общего трёхфазного помехоподавляющего сетевого фильтра и регулируемых посредством модуля управления. Регулирование и стабилизация выходных параметров осуществляется по принципу широтно-импульсной модуляции. Преобразование напряжения осуществляется посредством трёх одинаковых модулей конверторов мощностью каждый по 1кВт (в зависимости от исполнения), включающих в себя корректор коэффициента мощности и позволяющий потреблять из питающей сети почти синусоидальный ток. Максимальное выходное напряжение модулей конверторов -900В (в зависимости от исполнения), и они соединены в блоке параллельно. Выходное напряжение (цепи) блока изолировано(ы) от его корпуса. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов подключены к ней через сетевой фильтр. Выходы модулей конверторов блока выводятся через датчик тока, модуль ключа-коммутатора, модуль управления вентиляторами и поджога разряда на выходной разъём и далее посредством выходного кабеля соединяются с нагрузкой. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления, а их сопряжение с внешним интерфейсом осуществляется модулем сопряжения сигналов. Преобразование постоянного напряжения в пульсирующее однополярное напряжение с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модулей конверторов менее чем за 2мкс, выполняет модуль ключа-коммутатора. Напряжение «поджога» -1180В…-1280В (в зависимости от исполнения), необходимое для устойчивого возникновения тлеющего или магнетронного разряда, формирует модуль управления вентиляторами и поджога разряда, который кроме того регулирует количество продуваемого через блок охлаждающего воздуха в зависимости от теплового режима модулей конверторов и их нагрузки. Блок имеет 3,5-разрядные цифровые узлы индикации выходных и опорных (задаваемых) параметров: тока, напряжения, мощности, частоты и их регулирование с консоли ручного управления или от внешнего управления по интерфейсу «RS-485» (в зависимости от исполнения), а также светодиодную индикацию всех режимов работы и, соответственно, их выбор с консоли ручного управления или от интерфейса.

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-146» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий. Он имеет оптоизолированный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления и работает совместно с блоком дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-190».

Выходная вольтамперная характеристика блока питания "ИВЭ-140S" при максимальной мощности.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Выходная вольтамперная характеристика блока питания "ИВЭ-141-01В" при максимальной мощности.

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-141» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий.

Без индекса - оптоизолированный последовательный цифроаналоговый интерфейс управления 
S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485»
SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью
G - жидкостное охлаждение "ключа комутатора"
D - для построения дуальных систем

Блоки питания однополярных и дуальных магнетронов распыления

Выходная мощность регулируемая, Вт.....10~200*

Выходное напряжение регулируемое, В.....-60~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,02~0,46*

Поджог разряда с током до 30мА и напряжением, В.....-1250~1280

Максимальный ток дугозащиты, А.....12~16*

Дугозащита выхода с временем срабатывания 2мкс и током, А.....0,4~2,0

Частота выходных импульсов, кГц.....0 / 6~60*

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5**

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2**

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5**

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1300~2500*

Масса блока, кг.....14~18*

Габаритные размеры блока, мм.....241 х 419 х 143

Напряжение питающей сети.....220В-15%+10%, 4862 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения.

** - На активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

Без индекса - параллельный оптоизолированный последовательный
цифроаналоговый интерфейс управления
S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485»
SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего
управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью
D - для построения дуальных систем