ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СЕДЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ
НАКАЛА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
НАКАЛА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ТРЕТЬЕГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ПИТАНИЯ ИНДУКТОРА "ГРК"
ДЛЯ ПИТАНИЯ ИНДУКТОРА "ГРК"
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ШЕСТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ НАГРЕВА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
ДЛЯ НАГРЕВА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ
ЭЛЕКТРОМАГНИТА «ГРК»
ЭЛЕКТРОМАГНИТА «ГРК»
Блок управления «ИВЭ-677S» первым каналом.....1шт
Блок силовой «ИВЭ-676» первого канала.....6шт
Блок дугозащиты «ИВЭ-696» первого канала.....1шт
Блок питания газоразрядной камеры «ИВЭ-064МS» второго канала.....1шт
Блок питания накала катода и поджигного электрода «ИВЭ-050МS» третьего и четвертого
каналов.....1шт
Блок питания ускоряющего электрода и электромагнита «ИВЭ-132МS» пятого и шестого
каналов.....1шт
Блок питания накала и поджига нейтрализатора «ИВЭ-060МS» седьмого и восьмого каналов.....1шт
Блок частотной коммутации «ИВЭ-092S» третьего, четвёртого, седьмого и восьмого каналов.....1шт
Блок силовой «ИВЭ-676» первого канала.....6шт
Блок дугозащиты «ИВЭ-696» первого канала.....1шт
Блок питания газоразрядной камеры «ИВЭ-064МS» второго канала.....1шт
Блок питания накала катода и поджигного электрода «ИВЭ-050МS» третьего и четвертого
каналов.....1шт
Блок питания ускоряющего электрода и электромагнита «ИВЭ-132МS» пятого и шестого
каналов.....1шт
Блок питания накала и поджига нейтрализатора «ИВЭ-060МS» седьмого и восьмого каналов.....1шт
Блок частотной коммутации «ИВЭ-092S» третьего, четвёртого, седьмого и восьмого каналов.....1шт
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, кВт.....от 1,5 до 45
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от 0,5 до 5,5
Выходной средний стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,5 до 12
Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением силовых блоков.....есть
Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным
временем
её срабатывания, мкс.....2,5
Минимальное пороговое напряжение «дугозащиты» регулируемое, В.....от 150 до 900
Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите по току», мс.....3
Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите по напряжению», мкс.....120
Максимальный регулируемый пиковый ток «дугозащиты», А.....от 12 до 25
Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....170
Выдача и получение сигнала «дугозащиты» к и от шестого канала.....есть
Ступенчатое подключение/отключение силовых блоков с шагом в 6кВт.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....53
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от 0,5 до 5,5
Выходной средний стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,5 до 12
Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением силовых блоков.....есть
Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным
временем
её срабатывания, мкс.....2,5
Минимальное пороговое напряжение «дугозащиты» регулируемое, В.....от 150 до 900
Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите по току», мс.....3
Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите по напряжению», мкс.....120
Максимальный регулируемый пиковый ток «дугозащиты», А.....от 12 до 25
Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....170
Выдача и получение сигнала «дугозащиты» к и от шестого канала.....есть
Ступенчатое подключение/отключение силовых блоков с шагом в 6кВт.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....53
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ЧЕТВЁРТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ
ПОДЖИГНОГО ЭЛЕКТРОДА «ГРК»
ПОДЖИГНОГО ЭЛЕКТРОДА «ГРК»
Блок питания эмиссионного электрода «ИВЭ-264VS» первого канала.....1шт
Блок питания ускоряющего электрода и холодного катода «ИВЭ-132VS» – четвёртого и второго
каналов.....1шт
Блок питания поджога нейтрализатора, питания и управления ВЧГ «ИВЭ-073LS» – пятого и третьего
каналов.....1шт
Блок поддержания разряда и нагрева нейтрализатора «ИВЭ-060LS» – седьмого и шестого
каналов.....1шт
Блок питания потенциала смещения и нагрева нити накала «ИВЭ-030LS» – восьмого и девятого
каналов.....1шт
Высокочастотный генератор «ИВЭ-073RF» – третьего канала.....1шт
Блок питания ускоряющего электрода и холодного катода «ИВЭ-132VS» – четвёртого и второго
каналов.....1шт
Блок питания поджога нейтрализатора, питания и управления ВЧГ «ИВЭ-073LS» – пятого и третьего
каналов.....1шт
Блок поддержания разряда и нагрева нейтрализатора «ИВЭ-060LS» – седьмого и шестого
каналов.....1шт
Блок питания потенциала смещения и нагрева нити накала «ИВЭ-030LS» – восьмого и девятого
каналов.....1шт
Высокочастотный генератор «ИВЭ-073RF» – третьего канала.....1шт
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЕРВОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ ЭМИССИОННОГО ЭЛЕКТРОДА
Интерфейс ручного управления: с передней панели блоков посредством тумблеров, кнопок и осевых регуляторов
Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485», оптоизолированный на ±500В, с полной погрешностью измерения и преобразования по U до 1,5%, по I до 2,3%, по Р до 3% для 1-го, 6-го, 7-го канала и по U до 2%, по I до 2,3%, по Р до 4% для остальных каналов и со скоростью обмена данными до 57600бит/с
Индикация задаваемых и выходных параметров: светодиодными семисегментными 3,5-разрядными
индикаторами по два на каждый канал с точностью ±2% и ±3 ед. мл. разряда
Индикация режимов работы: двухцветными светодиодами
Защита от перенапряжений в питающей сети: есть с отключением выходного напряжения при
превышении на 15% и отключением «по сети» при превышении на 20%
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, воздушное принудительное с автоматической регулировкой воздушного потока от температуры модулей конверторов КПД, не менее.....0,87
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,95
* обеспечиваются в пределах выходных вольтамперных характеристик каналов.
** в диапазоне выходной мощности от 20% до 100% на номинальной резистивной нагрузке.
Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485», оптоизолированный на ±500В, с полной погрешностью измерения и преобразования по U до 1,5%, по I до 2,3%, по Р до 3% для 1-го, 6-го, 7-го канала и по U до 2%, по I до 2,3%, по Р до 4% для остальных каналов и со скоростью обмена данными до 57600бит/с
Индикация задаваемых и выходных параметров: светодиодными семисегментными 3,5-разрядными
индикаторами по два на каждый канал с точностью ±2% и ±3 ед. мл. разряда
Индикация режимов работы: двухцветными светодиодами
Защита от перенапряжений в питающей сети: есть с отключением выходного напряжения при
превышении на 15% и отключением «по сети» при превышении на 20%
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, воздушное принудительное с автоматической регулировкой воздушного потока от температуры модулей конверторов КПД, не менее.....0,87
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,95
* обеспечиваются в пределах выходных вольтамперных характеристик каналов.
** в диапазоне выходной мощности от 20% до 100% на номинальной резистивной нагрузке.
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, кВт*.....от 0,2 до 4
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 5 до 50
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 2 до 120
Нестабильность выходного напряжения, %, не более** ..... ±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**..... ±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**..... ±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**..... ±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....4,6
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 5 до 50
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 2 до 120
Нестабильность выходного напряжения, %, не более** ..... ±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**..... ±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**..... ±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**..... ±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....4,6
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 20 до 400
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 50
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,5 до 11
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....471
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 50
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,5 до 11
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....471
Выходная стабилизированная регулируемая мощность, кВт *.....0,6÷18
Выходное стабилизированное регулируемое напряжение, В *.....250÷2500
Выходной стабилизированный регулируемый средний ток, А *.....0,3÷11
Суммарная нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходного среднего тока, %, не более.....±2
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной мощности от 20% до
100% на активной нагрузке, %, не более.....±3
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....40
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2,5
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....42
Регулирования порога «дугозащиты по току» , А.....2÷40
Порог защиты «плавающего» потенциала выходной отрицательной цепи, В.....±500
Интерфейс ручного управления.....с передней панели «БУ»
Интерфейс внешнего управления.....последовательный цифровой «RS-485» оптоизолированный на
±500В
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....22
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Режим работы и охлаждение.....непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Масса, кг.....95
Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм.....600х630х1070
* в соответствии с выходными вольтамперными характеристиками на постоянном токе.
Выходное стабилизированное регулируемое напряжение, В *.....250÷2500
Выходной стабилизированный регулируемый средний ток, А *.....0,3÷11
Суммарная нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходного среднего тока, %, не более.....±2
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной мощности от 20% до
100% на активной нагрузке, %, не более.....±3
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....40
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2,5
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....42
Регулирования порога «дугозащиты по току» , А.....2÷40
Порог защиты «плавающего» потенциала выходной отрицательной цепи, В.....±500
Интерфейс ручного управления.....с передней панели «БУ»
Интерфейс внешнего управления.....последовательный цифровой «RS-485» оптоизолированный на
±500В
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....22
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Режим работы и охлаждение.....непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Масса, кг.....95
Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм.....600х630х1070
* в соответствии с выходными вольтамперными характеристиками на постоянном токе.
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 50 до 1000
Выходное среднее пиковое (амплитудное) напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от
50 до 500
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 3
Нестабильность выходного среднего пикового напряжения, %, не более**.....±2,5
Нестабильность выходного среднего тока, %, не более**.....±3,8
Нестабильность выходной средней мощности, %, не более**.....±4,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±9,5
Частота выходных импульсов напряжения, регулируемая, Гц.....от 10 до 60
Длительность выходных импульсов напряжения, мс.....от 3 до 5
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....1180
Выходное среднее пиковое (амплитудное) напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от
50 до 500
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 3
Нестабильность выходного среднего пикового напряжения, %, не более**.....±2,5
Нестабильность выходного среднего тока, %, не более**.....±3,8
Нестабильность выходной средней мощности, %, не более**.....±4,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±9,5
Частота выходных импульсов напряжения, регулируемая, Гц.....от 10 до 60
Длительность выходных импульсов напряжения, мс.....от 3 до 5
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....1180
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Интерфейс ручного управления.....с передней панели блоков посредством тумблеров, кнопок и
осевых регуляторов
Интерфейс внешнего управления.....последовательный цифровой «RS-485», оптоизолированный на
±500В, с полной погрешностью преобразования по U - до 1,5%, по I - до 2,3%, по Р - до 3% и со
скоростью обмена данными до 57600бит/с
Индикация задаваемых и выходных параметров.....светодиодными семисегментными 3,5-
разрядными
индикаторами по два на каждый канал с точностью ±2% и ±3 ед. мл. разряда
Индикация режимов работы.....двухцветными светодиодами
Защита от перенапряжений в питающей сети.....есть с отключением выходного напряжения при
превышении на 15% и отключением «по сети» при превышении на 20%
Режим работы и охлаждение.....непрерывный – ПВ 100%, воздушное принудительное с
автоматической регулировкой воздушного потока от температуры модулей конверторов
КПД, не менее.....0,85
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,95
* обеспечиваются в пределах выходных вольтамперных характеристик каналов.
** в диапазоне выходной мощности от 20% до 100% на номинальной резистивной нагрузке.
осевых регуляторов
Интерфейс внешнего управления.....последовательный цифровой «RS-485», оптоизолированный на
±500В, с полной погрешностью преобразования по U - до 1,5%, по I - до 2,3%, по Р - до 3% и со
скоростью обмена данными до 57600бит/с
Индикация задаваемых и выходных параметров.....светодиодными семисегментными 3,5-
разрядными
индикаторами по два на каждый канал с точностью ±2% и ±3 ед. мл. разряда
Индикация режимов работы.....двухцветными светодиодами
Защита от перенапряжений в питающей сети.....есть с отключением выходного напряжения при
превышении на 15% и отключением «по сети» при превышении на 20%
Режим работы и охлаждение.....непрерывный – ПВ 100%, воздушное принудительное с
автоматической регулировкой воздушного потока от температуры модулей конверторов
КПД, не менее.....0,85
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,95
* обеспечиваются в пределах выходных вольтамперных характеристик каналов.
** в диапазоне выходной мощности от 20% до 100% на номинальной резистивной нагрузке.
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 15 до 300
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, кВ*.....от -0,1 до -1
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,02 до 0,45
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Пассивная «дугозащита» при изменении импеданса нагрузки.....есть
Максимальный пиковый ток «дугозащиты», А.....1
Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите», мс.....1÷2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....250
Выдача и получение сигнала дугозащиты к и от первого канала.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....350
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, кВ*.....от -0,1 до -1
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,02 до 0,45
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Пассивная «дугозащита» при изменении импеданса нагрузки.....есть
Максимальный пиковый ток «дугозащиты», А.....1
Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите», мс.....1÷2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....250
Выдача и получение сигнала дугозащиты к и от первого канала.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....350
Основная область применения - в составе стендового испытательного вакуумно-технологического оборудования для обеспечения подачи рабочих газов и электропитания разрядных цепей электрореактивного высокочастотного ионного двигателя«ВЧИД-3кВт» («Двигатель»).
Система питания и управления «ИВЭ-216S»(«СПУ») одиннадцатиканальная, имеет в своём составе персональный компьютер («ПК») с управляющей программой, два канала подачи рабочих газов в газоразрядную камеру («ГРК») и «Нейтрализатор», и девять каналов электропитания электродов «Двигателя» с гальванически изолированными выходными высоковольтными и низковольтными цепями:
Первый канал питания постоянным напряжением эмиссионного электрода с активной «дугозащитой» и выходными высокопотенциальной положительной и низкопотенциальной отрицательной цепями;
Второй канал питания постоянным напряжением «холодного» катода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;
Третий канал питания переменным высокочастотным напряжением индуктора «ГРК»с выходными высокопотенциальной высокочастотной и низкопотенциальной заземлённой цепями;
Четвёртый канал питания постоянным напряжением ускоряющего электрода с активной «дугозащитой»и выходными высокопотенциальной отрицательной и низкопотенциальной положительной цепями;
Пятый канал питания импульсным или постоянным напряжением поджигающего электрода «Нейтрализатора»с выходными высокопотенциальной положительной и низкопотенциальной отрицательной цепями;
Шестой канал питания постоянным напряжением резистивного нагревателя (нагрева) «Нейтрализатора» с выходными низкопотенциальными цепями;
Седьмой канал питания постоянным напряжением электрода («Кипера») поддержания разряда «Нейтрализатора» с выходными низкопотенциальными цепями;
Восьмой канал питания постоянным напряжением «смещения» нити накала (эмиттера электронов)с выходными низкопотенциальными цепями;
Девятый канал питания постоянным напряжением «нагрева» нити накала (эмиттера электронов)с выходными низкопотенциальными цепями;
«СПУ» осуществляет подачу рабочих газов в «ГРК» и нейтрализатор и запитывает стабилизированным и регулируемым (управляемым) напряжением, током или мощностью вышепоименованных цепей«Двигателя» при его работе с наличием положительного напряжения до 2,5кВ на высокопотенциальных выходных цепях первых двух каналов относительно корпуса.
«СПУ»предназначена для обеспечения работы «Двигателя» в ручном режиме управления от органов управления расположенных на передних панелях блоков питания и регуляторов расхода газов, а также в режиме вешнего управления посредством управляющей программы «VCHID16», как в «ручном», так и в автоматическом управлении с поддержанием ионного тока «Двигателя». Поддержание (стабилизация) ионного тока осуществляется по выбору оператора посредством авторегулирования расхода газа в «ГРК» или мощности ВЧ-разряда в ней.
Блоки питания и регулятор расхода газа в «ГРК» «СПУ» имеют оптоизолированные помехозащищённые последовательные цифровые интерфейсы внешнего управления «RS-485», а регулятор расхода газа в нейтрализатор имеет интерфейс «RS-232» и все они подсоединяются к «ПК» посредством преобразователей интерфейса.
Система питания и управления «ИВЭ-216S»(«СПУ») одиннадцатиканальная, имеет в своём составе персональный компьютер («ПК») с управляющей программой, два канала подачи рабочих газов в газоразрядную камеру («ГРК») и «Нейтрализатор», и девять каналов электропитания электродов «Двигателя» с гальванически изолированными выходными высоковольтными и низковольтными цепями:
Первый канал питания постоянным напряжением эмиссионного электрода с активной «дугозащитой» и выходными высокопотенциальной положительной и низкопотенциальной отрицательной цепями;
Второй канал питания постоянным напряжением «холодного» катода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;
Третий канал питания переменным высокочастотным напряжением индуктора «ГРК»с выходными высокопотенциальной высокочастотной и низкопотенциальной заземлённой цепями;
Четвёртый канал питания постоянным напряжением ускоряющего электрода с активной «дугозащитой»и выходными высокопотенциальной отрицательной и низкопотенциальной положительной цепями;
Пятый канал питания импульсным или постоянным напряжением поджигающего электрода «Нейтрализатора»с выходными высокопотенциальной положительной и низкопотенциальной отрицательной цепями;
Шестой канал питания постоянным напряжением резистивного нагревателя (нагрева) «Нейтрализатора» с выходными низкопотенциальными цепями;
Седьмой канал питания постоянным напряжением электрода («Кипера») поддержания разряда «Нейтрализатора» с выходными низкопотенциальными цепями;
Восьмой канал питания постоянным напряжением «смещения» нити накала (эмиттера электронов)с выходными низкопотенциальными цепями;
Девятый канал питания постоянным напряжением «нагрева» нити накала (эмиттера электронов)с выходными низкопотенциальными цепями;
«СПУ» осуществляет подачу рабочих газов в «ГРК» и нейтрализатор и запитывает стабилизированным и регулируемым (управляемым) напряжением, током или мощностью вышепоименованных цепей«Двигателя» при его работе с наличием положительного напряжения до 2,5кВ на высокопотенциальных выходных цепях первых двух каналов относительно корпуса.
«СПУ»предназначена для обеспечения работы «Двигателя» в ручном режиме управления от органов управления расположенных на передних панелях блоков питания и регуляторов расхода газов, а также в режиме вешнего управления посредством управляющей программы «VCHID16», как в «ручном», так и в автоматическом управлении с поддержанием ионного тока «Двигателя». Поддержание (стабилизация) ионного тока осуществляется по выбору оператора посредством авторегулирования расхода газа в «ГРК» или мощности ВЧ-разряда в ней.
Блоки питания и регулятор расхода газа в «ГРК» «СПУ» имеют оптоизолированные помехозащищённые последовательные цифровые интерфейсы внешнего управления «RS-485», а регулятор расхода газа в нейтрализатор имеет интерфейс «RS-232» и все они подсоединяются к «ПК» посредством преобразователей интерфейса.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ НАКАЛА АНОДА «ГРК»
Основная область применения - в составе стендового испытательного вакуумно-технологического оборудования для обеспечения электропитания разрядных цепей электрореактивного плазменно-ионного двигателя Кауфмана («Двигатель»). Система питания «ИВЭ-678S» восьмиканальная, имеющая каналы с гальванически изолированными выходными цепями высоковольтного и низковольтного питания электродов «Двигателя»:
Первый канал питания постоянным напряжением эмиссионного электрода с активной «дугозащитой» и выходной высокопотенциальной положительной цепью;
Второй канал питания постоянным напряжением анода газоразрядной камеры («ГРК») с выходными высокопотенциальными цепями;
Третий канал питания постоянным или переменным напряжением резистивного нагревателя (накала) катода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;
Четвёртый канал питания постоянным или импульс-ным напряжением поджигного электрода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;
Пятый канал питания постоянным напряжением электромагнита «ГРК» с выходными высоко-потенциальными цепями;
Шестой канал питания постоянным напряжением ускоряющего электрода с пассивной «дугозащитой» и выходной высокопотенциальной отрицательной цепью;
Седьмой канал питания постоянным или переменным напряжением резистивного нагревателя (накала) нейтрализатора с выходными низкопотенциальными цепями;
Восьмой канал питания постоянным или импульсным напряжением поджигного электрода нейтрализатора с выходными низкопотенциальными цепями;
Система питания предназначена для подачи питания со стабилизированным и регулируемым напряжением, током или мощностью вышепоименованных цепей «Двигателя» при его работе с обеспечением наличия положительного напряжения до 6,5кВ на высокопотенциальных выходных цепях первых пяти каналов относительно корпуса и других выходных низкопотенциальных цепей, а также защиты низкопотенциальной отрицательной выходной цепи первого канала от превышения её уровня более чем на ±350В относительно корпуса. Система питания имеет оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485».
Первый канал питания постоянным напряжением эмиссионного электрода с активной «дугозащитой» и выходной высокопотенциальной положительной цепью;
Второй канал питания постоянным напряжением анода газоразрядной камеры («ГРК») с выходными высокопотенциальными цепями;
Третий канал питания постоянным или переменным напряжением резистивного нагревателя (накала) катода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;
Четвёртый канал питания постоянным или импульс-ным напряжением поджигного электрода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;
Пятый канал питания постоянным напряжением электромагнита «ГРК» с выходными высоко-потенциальными цепями;
Шестой канал питания постоянным напряжением ускоряющего электрода с пассивной «дугозащитой» и выходной высокопотенциальной отрицательной цепью;
Седьмой канал питания постоянным или переменным напряжением резистивного нагревателя (накала) нейтрализатора с выходными низкопотенциальными цепями;
Восьмой канал питания постоянным или импульсным напряжением поджигного электрода нейтрализатора с выходными низкопотенциальными цепями;
Система питания предназначена для подачи питания со стабилизированным и регулируемым напряжением, током или мощностью вышепоименованных цепей «Двигателя» при его работе с обеспечением наличия положительного напряжения до 6,5кВ на высокопотенциальных выходных цепях первых пяти каналов относительно корпуса и других выходных низкопотенциальных цепей, а также защиты низкопотенциальной отрицательной выходной цепи первого канала от превышения её уровня более чем на ±350В относительно корпуса. Система питания имеет оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485».
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,25 до 5
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,2 до 2,5
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 3
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным
временем её срабатывания, мкс.....2,5
Максимальный пиковый ток «дугозащиты» регулируемый, А.....от 1,8 до 3,2
Минимальное пороговое напряжение«дугозащиты» регулируемое, В.....от 50 до 250
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....19
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....5,9
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,2 до 2,5
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 3
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным
временем её срабатывания, мкс.....2,5
Максимальный пиковый ток «дугозащиты» регулируемый, А.....от 1,8 до 3,2
Минимальное пороговое напряжение«дугозащиты» регулируемое, В.....от 50 до 250
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....19
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....5,9
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ОДИННАДЦАТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА В НЕЙТРАЛИЗАТОР
ДЛЯ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА В НЕЙТРАЛИЗАТОР
Система питания
эмиссионного электрода "ИВЭ-266S"
эмиссионного электрода "ИВЭ-266S"
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ЧЕТВЁРТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ УСКОРЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА
ДЛЯ УСКОРЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА
Система питания "ИВЭ-578"
источника ионов "Кауфман"
источника ионов "Кауфман"
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-578» восьмиканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током четырёх магнетронов распыления в однополярном режиме или двух «дуальных» при синхронной встречно-параллельной парной работе входящих в неё четырёх каналов и подачи с пятого и шестого каналов двухполярного «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Седьмой и восьмой каналы системы предназначены для питания стабилизированным напряжением или током двух источников ионов типа «Радикал». Система имеет интерфейс внешнего управления «RS-485».
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ШЕСТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ
УСКОРЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА
УСКОРЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ПОДЖИГНОГО ЭЛЕКТРОДА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
ДЛЯ ПОДЖИГНОГО ЭЛЕКТРОДА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 25 до 500
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 7 до 70
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,5 до 10
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....580
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 7 до 70
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,5 до 10
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....580
СОСТАВ СИСТЕМЫ
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДЕВЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ НАГРЕВА НИТИ НАКАЛА
ДЛЯ НАГРЕВА НИТИ НАКАЛА
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ВОСЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ НИТИ НАКАЛА
ДЛЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ НИТИ НАКАЛА
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ СЕДЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ПОДДЕРЖАНИЯ РАЗРЯДА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
ДЛЯ ПОДДЕРЖАНИЯ РАЗРЯДА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
Система питания эмиссионного электрода "ИВЭ-266S" («Система») представляет собой набор источников вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающих на частоте преобразования 35¸50кГц. «Система» основана на сборках транзисторных конверторных модулей, питаемых от трёхфазной четырёхпроводной сети 380В/50Гц, и регулируемых посредством модуля управления («МУ»). Преобразование сетевого переменного напряжения осуществляется посредством 12-ти одинаковых модулей конверторов («МК») мощностью каждый по 1,5кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности и расположенных по 6 штук в двух «БС». Выходное напряжение конверторов 2500В, и их выхода соединены параллельно. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, «МК» подключены к ней через модули сетевого ВЧ фильтра («МСФ») в суммарном количестве 2шт. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в «МУ». Передачу постоянного напряжения с выхода «МК» с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от «МК», выполняет модуль ключа-коммутатора («МКК»), расположенный в «БДЗ». В «БДЗ» установлен модуль управления коммутацией защиты («МУК») для обеспечения ограничения потенциала низкопотенциальной выходной отрицательной цепи на уровне ±500В относительно его заземлённого корпуса. В исполнении системы «ИВЭ-266RS» в «БДЗ» («ИВЭ-190-09BR») также установлены балластные резисторы и дроссель, подключаемые при необходимости командой «ER» параллельно «МКК» в режиме очистки (тренировки) электродов ИОС «ВЧИД». Координацией работы «системой» между ручным и внешним управлением, а также преобразованием уровней и кодов сигналов и команд в ней занимается модуль сопряжения сигналов («МСС») расположенный в «БУ». «Система» имеет модуль индикации («МИ»), состоящий из двух семисегментных светодиодных 3,5-разрядных цифровых индикаторов выходных и «задаваемых-опорных» параметров: напряжения, тока, мощности, тока «дугозащиты» и частоты «микродуг», а также плату светодиодной индикации и регулирования («ПИР») всех режимов работы и, соответственно, их выбор. «МИ» и «ПИР» расположены на передней панели «БУ». Выбор режимов работы и регулирование параметров осуществляется посредством кнопок и ручек, расположенных на передней панели «БУ». Необходимые вспомогательные (внутренние) напряжения для работы каналов системы формирует модуль сервисного питания («МСП»), расположенный в «БУ».
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 15 до 300
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 1,5 до 15
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1,5 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания и холостого хода на выходе с отключением выходного
напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....353
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 1,5 до 15
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1,5 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания и холостого хода на выходе с отключением выходного
напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....353
СОСТАВ СИСТЕМЫ
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ АНОДА «ГРК»
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 35 до 750
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 50
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1 до 20
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....882
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 50
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1 до 20
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....882
Система питания "ИВЭ-678S"
источника ионов "Кауфман"
источника ионов "Кауфман"
СОСТАВ СИСТЕМЫ
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ХОЛОДНОГО КАТОДА "ГРК"
ДЛЯ ХОЛОДНОГО КАТОДА "ГРК"
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 40 до 800
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 4 до 40
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 1 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и переменное в форме меандра с частотой 20кГц
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....920
В каталогВыходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 4 до 40
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 1 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и переменное в форме меандра с частотой 20кГц
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....920
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,1 до 1
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,1 до 1
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 1,5
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±2,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,6
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,8
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,1 до 1
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 1,5
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±2,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,6
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,8
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 15 до 300
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 30 до 300
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,03 до 6
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и импульсное с длительностью импульса 90÷120мкс и
частотой 80÷110Гц
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....350
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 30 до 300
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,03 до 6
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и импульсное с длительностью импульса 90÷120мкс и
частотой 80÷110Гц
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....350
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 15 до 300
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 1,2 до 12
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1,5 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания и холостого хода на выходе с отключением выходного
напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....353
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 1,2 до 12
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1,5 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания и холостого хода на выходе с отключением выходного
напряжения.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....353
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЕРВОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ЭМИССИОННОГО ЭЛЕКТРОДА
ДЛЯ ЭМИССИОННОГО ЭЛЕКТРОДА
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВОСЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ
ПОДЖИГА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
ПОДЖИГА НЕЙТРАЛИЗАТОРА
приносим инновации в ваши технологии
Система «ИВЭ-678S» представляет собой набор источников вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающих на частоте преобразования 35¸50кГц. Система основана на сборках транзисторных конверторных модулей, питаемых от трёхфазной четырёхпроводной сети 380В/50Гц, и регулируемых посредством восьми модулей управления. Преобразование сетевого трёхфазного переменного напряжения в первом канале осуществляется посредством 36-ти одинаковых модулей конверторов, мощностью каждый по 1,25кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности и расположенных в силовых блоках питания «ИВЭ-576». Преобразование сетевого трёхфазного переменного напряжения во втором канале осуществляется посредством 3-х одинаковых модулей конверторов, мощностью каждый по 1,33кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности и расположенных в блоке питания «ИВЭ-046МS». Питание остальных каналов системы осуществляется от той же сети, но с поочерёдным подключением их к питающим фазам относительно нейтрали сети. Таким образом однофазное переменное напряжение 220В/50Гц, поступая на блоки питания 3÷8 каналов, сначала преобразуется в них с помощью трёх модулей корректора мощности в стабилизированное постоянное 400В, а лишь потом оно поступает на входы шести разных модулей конверторов, расположенных по два в блоках «ИВЭ-050МS», «ИВЭ-060МS», «ИВЭ-132МS». Максимальное выходное напряжение модулей конверторов первого канала +5400В и все они соединены по выходу параллельно. Во втором канале максимальное выходное напряжение модулей конверторов 50В, и их выхода также соединены параллельно. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов в первых двух каналах системы питания подключены к ней через модули трёхфазного сетевого ВЧ фильтра в суммарном количестве 7шт., а в остальных каналах модули корректора мощности подключены к питающей сети через три модуля однофазного сетевого ВЧ фильтра.
Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления.
В первом канале передачу постоянного напряжения с выхода модулей конвертора с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модуля конвертора, выполняют два модуля ключа-коммутатора, соединённые последовательно и расположенные в блоке дугозащиты «ИВЭ-696». Во втором канале постоянное напряжение с выходов модулей конвертора передаётся в нагрузку через дроссель, а в остальных каналах – через балластные резисторы, установленные в модулях управления вентиляторами и балластного резистора.
Координацией работы системой питания между ручным и внешним управлением, а также преобразованием уровней и кодов сигналов и команд в ней по каждому из каналов занимаются восемь модулей сопряжения сигналов, расположенные по одному в «ИВЭ-677S» и «ИВЭ-064МS», и по два в «ИВЭ-050МS», «ИВЭ-060МS», «ИВЭ-132МS».
Система питания имеет восемь, по одному на канал, модулей индикации со светодиодной семисегментной 3,5-разрядной цифровой индикацией выходных и «задаваемых-опорных» параметров: напряжения, тока, мощности, частоты «микродуг», а также восемь плат светодиодной индикации и регулирования всех режимов работы и, соответственно, их выбор. Модули индикации расположены на передних панелях блока управления и остальных блоков питания. Выбор режимов работы и регулирование выходных параметров осуществляется посредством тумблеров, кнопок и осевых регуляторов, также расположенных на передних панелях блока управления и остальных блоков питания.
Необходимые вспомогательные (внутренние сервисные) напряжения +5V, -5V для работы каналов системы формируют пять узлов дежурного питания, расположенных в по одному в модуле сервисного питания блока управления первого канала и на кросс-платах блоков питания остальных каналов. Основные сервисные напряжения +5VA, +15VA, -15VA формируются после включения каналов системы питания «по сети» в модуль сервисного питания для первого канала, в модуле управления для второго канала и в модули корректора мощности для остальных каналов.
Подключение в работу силовых блоков первого канала системы питания по «уровню задаваемой выходной мощности» с шагом в 6кВт осуществляется в блоке управления посредством модулей сопряжения сигналов и модулей сервисного питания.
Схемотехнически и конструктивно первый канал системы питания выделен в отдельную подсистему питания, состоящую из одного блока управления, шести силовых блоков, одного блока дугозащиты; второй канал – из блока питания «ИВЭ-064МS»; третий и четвёртый каналы – из блока питания «ИВЭ-050МS»; пятый и шестой каналы – из блока «ИВЭ-132МS»; седьмой и восьмой каналы – из блока «ИВЭ-060МS». Каналы системы питания представляют собой независимые самостоятельные изделия, расположенные все в силовом шкафу «ШТК-М-19ʺ-42U», и способные работать как отдельно друг от друга на независимые нагрузки, так и совместно на «Двигатель» от единого управляющего устройства по внешнему управлению или от ручного управления.
НаверхФормирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления.
В первом канале передачу постоянного напряжения с выхода модулей конвертора с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модуля конвертора, выполняют два модуля ключа-коммутатора, соединённые последовательно и расположенные в блоке дугозащиты «ИВЭ-696». Во втором канале постоянное напряжение с выходов модулей конвертора передаётся в нагрузку через дроссель, а в остальных каналах – через балластные резисторы, установленные в модулях управления вентиляторами и балластного резистора.
Координацией работы системой питания между ручным и внешним управлением, а также преобразованием уровней и кодов сигналов и команд в ней по каждому из каналов занимаются восемь модулей сопряжения сигналов, расположенные по одному в «ИВЭ-677S» и «ИВЭ-064МS», и по два в «ИВЭ-050МS», «ИВЭ-060МS», «ИВЭ-132МS».
Система питания имеет восемь, по одному на канал, модулей индикации со светодиодной семисегментной 3,5-разрядной цифровой индикацией выходных и «задаваемых-опорных» параметров: напряжения, тока, мощности, частоты «микродуг», а также восемь плат светодиодной индикации и регулирования всех режимов работы и, соответственно, их выбор. Модули индикации расположены на передних панелях блока управления и остальных блоков питания. Выбор режимов работы и регулирование выходных параметров осуществляется посредством тумблеров, кнопок и осевых регуляторов, также расположенных на передних панелях блока управления и остальных блоков питания.
Необходимые вспомогательные (внутренние сервисные) напряжения +5V, -5V для работы каналов системы формируют пять узлов дежурного питания, расположенных в по одному в модуле сервисного питания блока управления первого канала и на кросс-платах блоков питания остальных каналов. Основные сервисные напряжения +5VA, +15VA, -15VA формируются после включения каналов системы питания «по сети» в модуль сервисного питания для первого канала, в модуле управления для второго канала и в модули корректора мощности для остальных каналов.
Подключение в работу силовых блоков первого канала системы питания по «уровню задаваемой выходной мощности» с шагом в 6кВт осуществляется в блоке управления посредством модулей сопряжения сигналов и модулей сервисного питания.
Схемотехнически и конструктивно первый канал системы питания выделен в отдельную подсистему питания, состоящую из одного блока управления, шести силовых блоков, одного блока дугозащиты; второй канал – из блока питания «ИВЭ-064МS»; третий и четвёртый каналы – из блока питания «ИВЭ-050МS»; пятый и шестой каналы – из блока «ИВЭ-132МS»; седьмой и восьмой каналы – из блока «ИВЭ-060МS». Каналы системы питания представляют собой независимые самостоятельные изделия, расположенные все в силовом шкафу «ШТК-М-19ʺ-42U», и способные работать как отдельно друг от друга на независимые нагрузки, так и совместно на «Двигатель» от единого управляющего устройства по внешнему управлению или от ручного управления.
Расход (поток) газа, стабилизированный регулируемый, sccm.....от 0,5 до 100
Время изменения расхода газа, мс.....100
Корректировка данных расхода газа в зависимости от его вида.....есть
Наличие отсечного клапана на выходе регулятора расхода газа.....есть
Полная абсолютная погрешность данных расхода газа, %, не более.....±1,0
Нестабильность расхода газа, %, не более.....±0,2
Дрейф «нуля» расхода газа, %/°С, не более**.....±0,02
Напряжение питания, В.....24
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....6
Время изменения расхода газа, мс.....100
Корректировка данных расхода газа в зависимости от его вида.....есть
Наличие отсечного клапана на выходе регулятора расхода газа.....есть
Полная абсолютная погрешность данных расхода газа, %, не более.....±1,0
Нестабильность расхода газа, %, не более.....±0,2
Дрейф «нуля» расхода газа, %/°С, не более**.....±0,02
Напряжение питания, В.....24
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....6
Выходная средняя эффективная высокочастотная активная мощность, стабилизированная
регулируемая, кВт*.....кратковременно (до 30с) от 0,05 до 3 / длительно (с ПВ-100%) от 0,05 до 2
Выходное амплитудное высокочастотное напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от
0,05 до 2
Выходной амплитудный высокочастотный ток,с регулируемым ограничением, А*.....до 40
Частота выходного высокочастотного напряжения, МГц, при Lинд= 4,5÷5,5мкГн.....от 1,2 до 1,4
Выходное постоянное питающее «ВЧГ» напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до
200
Нестабильность выходного ВЧ-напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность питающего «ВЧГ» постоянного напряжения, %, не более**.....±1,2
Нестабильность выходной активной ВЧ-мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных ВЧ-напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита «ВЧГ» от короткого замыкания и обрыва индуктора.....есть
Защита «ВЧГ» от перегрева и выхода из «Е-режима» преобразования.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,8
регулируемая, кВт*.....кратковременно (до 30с) от 0,05 до 3 / длительно (с ПВ-100%) от 0,05 до 2
Выходное амплитудное высокочастотное напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от
0,05 до 2
Выходной амплитудный высокочастотный ток,с регулируемым ограничением, А*.....до 40
Частота выходного высокочастотного напряжения, МГц, при Lинд= 4,5÷5,5мкГн.....от 1,2 до 1,4
Выходное постоянное питающее «ВЧГ» напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до
200
Нестабильность выходного ВЧ-напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность питающего «ВЧГ» постоянного напряжения, %, не более**.....±1,2
Нестабильность выходной активной ВЧ-мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных ВЧ-напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита «ВЧГ» от короткого замыкания и обрыва индуктора.....есть
Защита «ВЧГ» от перегрева и выхода из «Е-режима» преобразования.....есть
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,8
Расход (поток) газа, стабилизированный регулируемый, sccm.....от 2 до 100
Время изменения расхода газа, мс.....800
Корректировка данных расхода газа в зависимости от его вида.....есть
Наличие отсечного клапана на выходе регулятора расхода газа.....есть
Полная абсолютная погрешность данных расхода газа, %, не более.....±0,7
Нестабильность расхода газа, %, не более.....±0,2
Дрейф «нуля» расхода газа, %/°С, не более**.....±0,04
Напряжение питания, В/Гц.....220/50
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....100
Время изменения расхода газа, мс.....800
Корректировка данных расхода газа в зависимости от его вида.....есть
Наличие отсечного клапана на выходе регулятора расхода газа.....есть
Полная абсолютная погрешность данных расхода газа, %, не более.....±0,7
Нестабильность расхода газа, %, не более.....±0,2
Дрейф «нуля» расхода газа, %/°С, не более**.....±0,04
Напряжение питания, В/Гц.....220/50
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....100
Блок управления «ИВЭ-677LS».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-376L».....2шт
Блок дугозащиты «ИВЭ-190-09В».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-376L».....2шт
Блок дугозащиты «ИВЭ-190-09В».....1шт
ПлазмаТех
Системы питания источников ионов
Система питания и управления "ИВЭ-216S" высокочастотным ионным двигателем "ВЧИД-3кВт"
Основная область применения системы питания «ИВЭ-266S» в составе стендового испытательного вакуумно-технологического оборудования для обеспечения электропитания ускоряющих цепей источников ионов и электрореактивных высокочастотного ионного двигателя («ВЧИД») или плазменно-ионного двигателя Кауфмана. «Система» одноканальная, имеющая гальванически изолированные от корпуса выходные цепи питания эмиссионного электрода «ВЧИД» - потенциальную положительную и низкопотенциальную отрицательную. «Система» предназначена для подачи питания стабилизированным напряжением, током или мощностью анодов источников ионов и электродов ионных двигателей при их работе. «Система» имеет оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс «RS-485» внешнего управления.
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 10 до 200
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 30 до 300
Выходной средний ток, стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,03 до 6
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и импульсное с длительностью импульса 90÷120мкс и
частотой 80÷110Гц
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....230
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 30 до 300
Выходной средний ток, стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,03 до 6
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и импульсное с длительностью импульса 90÷120мкс и
частотой 80÷110Гц
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....230
Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 25 до 500
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от-50 до -500
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,05 до 1
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным
временем её срабатывания, мкс.....2,5
Максимальный пиковый ток «дугозащиты» регулируемый, А.....от 1,8 до 3,2
Минимальное пороговое напряжение«дугозащиты» регулируемое, В.....от 12 до 50
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....2
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....590
Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от-50 до -500
Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,05 до 1
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5
Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным
временем её срабатывания, мкс.....2,5
Максимальный пиковый ток «дугозащиты» регулируемый, А.....от 1,8 до 3,2
Минимальное пороговое напряжение«дугозащиты» регулируемое, В.....от 12 до 50
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....2
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....590
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДЕСЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
ДЛЯ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА В "ГРК"
ДЛЯ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА В "ГРК"
Блок питания накала и поджига нейтрализатора
«ИВЭ-060S».....1шт
Блок питания ускоряющего электрода и магнита
«ИВЭ-132S».....1шт
Блок питания накала катода и поджигного электрода
«ИВЭ-050S»....1шт
Блок питания газоразрядной камеры «ИВЭ-064S».....1шт
Блок управления «ИВЭ-577S».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-576».....4шт
Блок дугозащиты «ИВЭ-590».....1шт
«ИВЭ-060S».....1шт
Блок питания ускоряющего электрода и магнита
«ИВЭ-132S».....1шт
Блок питания накала катода и поджигного электрода
«ИВЭ-050S»....1шт
Блок питания газоразрядной камеры «ИВЭ-064S».....1шт
Блок управления «ИВЭ-577S».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-576».....4шт
Блок дугозащиты «ИВЭ-590».....1шт
Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, кВт*.....от 0,05 до 1
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 5 до 50
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 1 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и переменное в форме меандра с частотой 20кГц
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2
Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 5 до 50
Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 1 до 30
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5
Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5
Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть
Виды выходного напряжения.....постоянное и переменное в форме меандра с частотой 20кГц
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2