Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-352S» имеет два канала, предназначенных для питания стабилизированным напряжением или током технологических устройств. Первый канал имеет положительную полярность выходного напряжения, и служит для питания источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом. Второй канал имеет отрицательную полярность гальванически изолированного от корпуса блока выходного напряжения, и служит для подачи «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия или для питания магнетрона напыления. Блок имеет интерфейс внешнего управления «RS485».
Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-244HLS" при максимальной мощности.
В каталогВыходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-345" при максимальной мощности.
1 канал / 2 канал
Выходная мощность регулируемая, Вт*.....................................20÷1000 / 40÷800
Выходное напряжение регулируемое, В*.....................................0÷3000 / 0,4÷8
Выходной ток регулируемый, А*..................................................0,01÷0,5 / 6÷150
Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более**.....2
Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более**.....3
Нестабильность выходной мощности обоих каналов, %, не более**.....3
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....2200
Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных
параметров.
Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на
потенциал до ±1000В.
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Масса блока, кг.....17
Габаритные размеры блока, мм.....482х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62Гц
* - В соответствии с выходными вольтамперными характеристиками («ВАХ»).
** - На активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-341S» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом. Блок имеет оптоизолированный цифровой интерфейс «RS-485» внешнего управления.
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-442»
* - В соответствии с выходными вольтамперными характеристиками.
** - На активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.
Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-441» имеет два стабилизированных канала с положительной полярностью выходных напряжений и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом, а также прямонакальный нейтрализатор. Блок оснащён оптоизолированным аналого-цифровым интерфейсом внешнего управления.
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе стендового и испытательного оборудования для обеспечения электропитанием источников ионов. Блок питания «ИВЭ-244HLS» имеет гальванически изолиро- ванное выходное напряжение с положительной полярностью и предназначен для его подачи на анод «источника ионов с замкнутым дрейфом электронов» или ему подобного. Блок оснащён модулем «дугозащиты и частотной коммутации» и последовательным цифровым интерфейсом внешнего управления «RS-485».
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Выходная мощность регулируемая, Вт.....5÷100
Выходное напряжение регулируемое, В.....300÷3000
Выходной ток регулируемый, А.....0,005÷0,05
Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2
Нестабильность выходного тока, %, не более.....3
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....125
Масса блока, кг.....7,5
Габаритные размеры блока, мм.....241 х 420 х 134
Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48/62 Гц
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ И ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-352S»
Выходная DC-мощность регулируемая, Вт.....10÷1000
Выходное DC-напряжение регулируемое, В.....12÷1200
Выходной DC-ток регулируемый, А.....0,03÷1,15
Нестабильность выходного DC-напряжения, %, не более.....2
Нестабильность выходного DC-тока, %, не более.....3
Нестабильность выходной DC-мощности, %, не более.....3
Частота коммутации*, кГц.....1÷40
Максимальный ток DC-дугозащиты *, А.....15
Выходная RF-мощность (АМ-FM/SSB-CW), регулируемая **, Вт.....от 10/20 до 400/800
Выходное RF-напряжение, амплитудное, В.....0,85/0,55
КПД (DC/RF), не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....2000
Масса блока, кг.....24
Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140
Напряжение однофазной питающей сети.....220В-15/+10%, 48-62Гц
* - для исполнения KLK
** - на резистивном эквиваленте нагрузки через кабель ИВЭ4.072.050
Выходная регулируемая мощность*, Вт.....300÷6000
Выходное регулируемое напряжение*, В.....+300÷+3000
Выходной регулируемый ток*, А.....0,2÷3,0
Нестабильность выходного напряжения**, %, не более.....2
Нестабильность выходного тока**, %, не более.....2,5
Нестабильность выходной мощности**, %, не более.....3
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7200
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
КПД, не менее.....0,85
Масса блока, кг.....14,8
Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....380В±10%, 50/60 Гц
ПлазмаТех
1 канал / 2 канал
Выходная мощность, Вт....................................................2000 / 500
Выходное напряжение регулируемое, В....................0÷4000 / 0÷80
Выходной ток регулируемый, А..............................0,02÷0,75 / 0,3÷9
Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более.....2
Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более.....3
Нестабильность выходной мощности обоих каналов, %, не более.....3
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....3000
Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных
параметров.
Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на
потенциал до ±1000В.
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Масса блока, кг.....19
Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62 Гц
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-343»
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
приносим инновации в ваши технологии
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-341S»
Блоки питания тлеющего разряда,
ионного источника, ЛБВ
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-345»
Выходные параметры..........................................1 канал / 2 канал
Выходная мощность, Вт............................................1000 / 1000
Выходное напряжение регулируемое, В............0÷4000 / 0÷4000
Выходной ток регулируемый, мА........................40÷400 / 40÷400
Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....3
Нестабильность выходного тока, %, не более.....3
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....2500
Масса блока, кг.....19
Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....220В±15%10%, 48-62 Гц
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей.
Блок «ИВЭ-362S» предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источника ионов типа «Радикал» или аналогичного, состоящего из одной разрядно-ускоряющей ионно-оптической системы с потенциальным анодом и заземлённым выходным электродом, и питания термического испарителя. Блок имеет два стабилизированных канала с положительной полярностью выходного напряжения первого высоковольтного канала и гальванически изолированного низковольтного напряжения второго канала, оснащённых последовательным оптоизолированным цифровым интерфейсом «RS-485» внешнего управления.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-341М-02SА» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом. Блок имеет оптоизолированные интерфейсы внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» и аналоговый одноканальный для управления и контроля тока.
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-341М-02SА»
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Выходная "ВАХ" канала №2
НаверхБЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-441»
* - В соответствии с выходными вольтамперными характеристиками.
** - на активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.
Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-442» имеет два стабилизированных канала с положительной полярностью выходных напряжений и предназначен для питания стабилизированными напряжениями или токами источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.
БЛОК ПИТАНИЯ DC-RF ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА «ИВЭ-072KL»
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для получения в межкамерном пространстве низкотемпературной плазмы. Блок питания «ИВЭ-345» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.
Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-244HLS" при максимальной мощности.
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-343» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.
Выходная мощность регулируемая, Вт*.....300÷6000
Выходное напряжение регулируемое, В*.....100÷1000
Выходной ток регулируемый, А*.....0,45÷9
Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....1
Нестабильность выходного тока, %, не более**.....1,8
Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....2,5
Частота коммутации выходного напряжения, кГц.....0; 4÷40
Ток «дугозащиты» регулируемый, А.....8÷15
Напряжение «дугозащиты» регулируемое, В.....100÷200
Максимальное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....3
Максимальная паразитная энергия «дугозащиты», мДж.....0,85
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7800
Масса блока, кг.....16,7
Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....380В-15%\+10%, 48-62 Гц
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ И ТЕРМОИСПАРИТЕЛЯ «ИВЭ-362S»
Выходная мощность регулируемая, Вт.....50÷1000
Выходное напряжение регулируемое, В.....300÷3000
Выходной ток регулируемый, А.....0,025÷0,5
Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2
Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3
Нестабильность выходного тока, %, не более.....2
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1200
Масса блока, кг.....12
Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....380В-15%/+10%, 50/60 Гц
1 канал / 2 канал
Выходная мощность, Вт......................................................................1000 / 1000
Выходное напряжение регулируемое, В.....................................30÷3000 / -30÷-3000
Выходной ток регулируемый, А*..................................................0,04÷0,5 / 0,04÷1,2
Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более**.....2
Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более**.....3
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....2500
Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных
параметров.
Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на
потенциал до ±500В.
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Масса блока, кг.....19
Габаритные размеры блока, мм.....482х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62Гц
БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-244HLS»
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-072KL» двухканальный - имеет положительную полярность выходного постоянного (DC) напряжения, суммированного с высокочастотным 13,56МГц (RF) напряжением и предназначен для подачи их на «ёмкостной излучатель» при процессах очистки и нанесения покрытий.
Выходная "ВАХ" канала №1
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Выходная мощность регулируемая, Вт.....300÷3000
Выходное напряжение регулируемое, В.....300÷3000
Выходной ток регулируемый, А.....0,2÷1,5
Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2
Нестабильность выходного тока, %, не более.....2,5
Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....3900
Масса блока, кг.....14
Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140
Напряжение питающей сети.....380В±10%, 50/60 Гц
Блок «ИВЭ-345М» представляет собой источник вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающим на частоте преобразования 45¸55кГц. Блок основан на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых сетью от общего трёхфазного помехоподавляющего сетевого фильтра и регулируемых посредством модуля управления. Регулирование и стабилизация выходных параметров осуществляется по принципу широтно-импульсной модуляции. Преобразование напряжения осуществляется посредством трёх одинаковых модулей конверторов мощностью каждый по 2кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности, соединённых в блоке параллельно и позволяющие потреблять из питающей сети почти синусоидальный ток. Максимальное выходное напряжение модулей конверторов +3000В. Выходное отрицательное напряжение (цепь «-U-») блока соединено (-на) с его корпусом. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов подключены к ней через сетевой фильтра. Выходы модулей конверторов отрицательного напряжения блока выводятся через датчик тока на корпус выходного разъёма, а положительного — на модуль управления ветиляторами и балластного резистора и далее на центральный вывод выходного разъёма (цепь «+U») и посредством выходного кабеля соединяются с нагрузкой. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления», а их сопряжение с внешним интерфейсом осуществляется модулем сопряжения сигналов. Динамическое ограничение пикового выходного тока обеспечивают балластные проволочные резисторы модуля управления ветиляторами и балластного резистора, который кроме того регулирует количество продуваемого через блок охлаждающего воздуха в зависимости от теплового режима этих резисторов и модулей конверторов при разных режимах нагрузки. Блок имеет два 3,5-разрядных семисегментных цифровых индикатора, объединённых в модуль индикации, для отображения выходных и опорных (задаваемых) параметров: тока, напряжения, мощности, частоты и их регулирование с консоли ручного управления или от внешнего управления по аналого-цифровому интерфейсу. Блок оснащён светодиодной панелью индикации для отображения всех режимов работы и, соответственно, имеет их выбор с консоли ручного управления или от внешнего аналого-цифрового интерфейса.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ