Блок ключа-коммутатора «ИВЭ-190», блоки дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-191-01», «ИВЭ-192-02» и «ИВЭ-192-03» предназначены для работы в составе системы электропитания вакуумно-технологического оборудования (ВТО) для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий.
Блок дугозащиты и частотной коммутации
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ
Функцию быстродействующего электронного размыкателя выполняют установленные в каждом блоке модули ключа-коммутатора, соединённые последовательно и имеющие принудительное воздушное охлаждение. Модули ключа-коммутатора собраны с использованием быстродействующих высоковольтных MOSFET-транзисторов и импульсных трансформаторов, обеспечивающих требуемую помехозащищённость и изолирующую способность. В середине блока между модулями ключа-коммутатора размещён модуль управления, отвечающий за защитное выключении модулей ключа-коммутатора по превышению максимального импульсного тока, за их термозащиту и за адаптивное управление подачи охлаждающего воздуха в блоке дугозащиты. В блоке на кроссплате установлен датчик пикового выходного тока, сигнал от которого поступает на модуль управления блока питания потенциала смещения для обеспечения функции «дугозащиты по превышению тока» и высоковольтный делитель выходного напряжения, сигнал от которого поступает через разъём в блок питания потенциала смещения на модуль управления, для обеспечения функции «дугозащиты по понижению напряжения». На ней же установлены модуль сервисного питания на +5В и разъёмы «SLOT» для подключения к ним модулей ключа-коммутатора. На основании блока установлен модульный источник второго сервисного напряжения на +12В. Разъёмы управления блоком, входные и выходные расположены на задней панели. На ней так же установлена и клемма заземления. Блок «ИВЭ-492-01» формирует отрицательную составляющую выходного напряжения системы и может выдавать в нагрузку импульсное напряжение (ток) с частотой и длительностью импульсов выработанными задающим генератором блока питания потенциала смещения. Блок «ИВЭ-492-02» формирует положительные импульсы выходного напряжения с частотой и длительностью также выработанными задающим генератором блока питания потенциала смещения, но в противофазе с отрицательными импульсами. Активная длительность отрицательных и положительных импульсов 3÷16мкс при форме тока (напряжения) близкой к прямоугольной. Величина пиковых напряжений определяется напряжением стабилизации в модуле управления блока питания потенциала смещения на выходе модулей конвертора в блоке силовом и модулей конвертора блоке питания потенциала смещения. Величина пикового выходного тока не более 8А.
БЛОКИ ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-492-01» и «ИВЭ-492-02»
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе систем импульсного питания вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов очистки и нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Блоки имеют параллельный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления, совместимый для совместного использования в комплекте системы «ИВЭ-477PS». Функциональное назначение «ИВЭ-492-01» и «ИВЭ-192-02» состоит в преобразовании постоянных выходных напряжений блоков «ИВЭ-476» и «ИВЭ-477S» в знакопеременное пульсирующее, подаваемое на нагрузку системы с обеспечением быстродействующего её обесточивания, то есть «дугозащиты».
БЛОК ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-192-03»
Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-750
Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....45
Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....60
Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....44
Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой
скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....44(26,5)//40(21)
Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью
на частоте £10кГц(20кГц), А.....44(26,5)//22(13)
Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....4÷12
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....20
Выходное напряжение вольтдобавки («поджига»), В.....1200¸1300
Ток вольтдобавки, мА.....20¸40
Входное напряжение включения вольтдобавки, В.....120¸180
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....90
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....9
Габаритные размеры блока, мм.....377 х 270 х 135
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц
В каталогКоммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....45
Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....60
Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....44
Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой
скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....44(26,5)//40(21)
Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью
на частоте £10кГц(20кГц), А.....44(26,5)//22(13)
Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....4÷12
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....20
Выходное напряжение вольтдобавки («поджига»), В.....1200¸1300
Ток вольтдобавки, мА.....20¸40
Входное напряжение включения вольтдобавки, В.....120¸180
Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....90
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....9
Габаритные размеры блока, мм.....377 х 270 х 135
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
ПлазмаТех
БЛОК КЛЮЧА-КОММУТАТОРА «ИВЭ-190»
Технические характеристики блоков «ИВЭ-190-02 (без МВД-143-01)» и «ИВЭ-193» вы можете уточнить по телефону +7 (495) 362-05-81 или отправив запрос по e-mail: ivep@mail.ru, info@plazmateh.ru.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Блоки «ИВЭ-191-01», «ИВЭ-192-02» и «ИВЭ-192-03» в составе системы электропитания ВТО осуществляет активное снижение пространственной неравновесности плазмы газового разряда и поверхностных зарядов на мишени и деталях, а также частоты возникновения «микродуг» с подавлением уже возникших при низкой передаваемой в них паразитной энергией, что предотвращает их перерастание в самостоятельные дуговые, коронные и поверхностные разряды, тем самым обеспечивая бездефектный и устойчивый процесс нанесения покрытий.
Блок «ИВЭ-190» используется для изменения формы выходного напряжения источника питания «потенциала смещения», подаваемого на карусель с изделиями в установках «дугового» и магнетронного напыления, а также для питания самого магнетрона формоизмененным напряжением отрицательной полярности. При этом блок оперативно распознает изменение импеданса нагрузки при изменении в ней характера плазменного разряда и производит программное отключение от неё напряжения питания. Применение блока в составе системы электропитания ВТО обеспечивает активное подавление возникающих «микродуг» и предотвращает их перерастание в самостоятельные дуговые разряды и «привязки», что создаёт бездефектный и устойчивый процесс нанесения покрытий.
Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе систем импульсного питания вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов очистки и нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Высоковольтный биполярный блок частотной коммутации и дугозащиты «ИВЭ-299ID» двухканальный, имеющий гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающий их «переполюсовку». Блок предназначен для преобразования двух постоянных напряжений и токов в импульсные и питания ими высокомощных импульсных однополярных или дуальных магнетронов распыления («HIPIMS»), а также подачи потенциала смещения на обрабатываемые изделия при их очистке и напылении. Блок имеет параллельный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления совместимый для совместного использования в комплекте с системами «ИВЭ-178-10VIDCS» и блоком силовой высоковольтной коммутации режимов «HIPIMS» - «ИВЭ-239К»
Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-1350
Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....92
Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....68
Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....60
Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой
скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....60(40)//48(32)
Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью
на частоте £10кГц(20кГц), А.....60(40)//30(20)
Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....4÷12
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....3
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....40
Напряжение гальванической развязки между цепями управления и корпусом, выходными и
питающими цепями, В.....1000
Потребляемая от сети электрическая мощность, не более, Вт.....90
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....13
Габаритные размеры блока, мм.....392 х 143 х 380
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц
Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....92
Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....68
Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....60
Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой
скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....60(40)//48(32)
Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью
на частоте £10кГц(20кГц), А.....60(40)//30(20)
Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....4÷12
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....3
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....40
Напряжение гальванической развязки между цепями управления и корпусом, выходными и
питающими цепями, В.....1000
Потребляемая от сети электрическая мощность, не более, Вт.....90
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....13
Габаритные размеры блока, мм.....392 х 143 х 380
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц
БЛОК КЛЮЧА-КОММУТАТОРА «ИВЭ-190»
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ
Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-750
Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....90
Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....120
Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....88
Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой
скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....88(53)//79(42)
Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью
на частоте £10кГц(20кГц), А.....88(53)//44(26)
Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....4÷12
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....40
Выходное напряжение «поджига», В.....1250
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....13
Габаритные размеры блока, мм.....392 х 143 х 380
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц
Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....90
Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....120
Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....88
Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой
скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....88(53)//79(42)
Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью
на частоте £10кГц(20кГц), А.....88(53)//44(26)
Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....4÷12
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....40
Выходное напряжение «поджига», В.....1250
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....13
Габаритные размеры блока, мм.....392 х 143 х 380
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц
ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ БИПОЛЯРНЫЙ БЛОКЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ И ДУГОЗАЩИТЫ «ИВЭ-299ID»
БЛОК ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-192-02»
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Передоваемая в нагрузку средняя мощность по каналу №1 при частоте коммутации 1кГц и
импульсном токе 900А, кВт.....до 12
Передоваемая в нагрузку средняя мощность по каналу №2 при частоте коммутации 1кГц и
импульсном токе 450А, кВт.....до 6
Входное и выходное напряжение по обоим каналам, В.....до -1800
Выходной импульсный ток по каналу №1, А.....до 900
Выходной импульсный ток по каналу №2, А.....до 450
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....до 40
Длительность выходных импульсов напряжения и тока*, мкс...4÷514
Длительность паузы в «дуальном режиме» между окончанием выходного импульса напряжения и
тока первой системы и началом импульса второй системы*, мкс.....-12÷+110
Длительность паузы между выходными импульсами напряжения и тока*, мкс.....20÷4115
Максимальный пиковый ток дугозащиты по каналу №1, А.....до 900
Максимальный пиковый ток дугозащиты по каналу №2, А.....до 450
Максимальное напряжение дугозащиты, В.....до 383
Полное время срабатывания «дугозащиты», не более, мкс.....3
Паразитная энергия «дугогашения» по каналу №1, не более, Дж.....2,4
Паразитная энергия «дугогашения» по каналу №2, не более, Дж.....1,2
Суммарное выходное напряжение в «дуальном режиме», В.....до 2400
Интерфейс внешнего управления: параллельный аналого-цифровой оптоизолированный ±2500В
КПД, не менее.....0,95
Потребляемая от сети электрическая мощность, не более, Вт.....200
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
* - При работе от внешнего генератора
импульсном токе 900А, кВт.....до 12
Передоваемая в нагрузку средняя мощность по каналу №2 при частоте коммутации 1кГц и
импульсном токе 450А, кВт.....до 6
Входное и выходное напряжение по обоим каналам, В.....до -1800
Выходной импульсный ток по каналу №1, А.....до 900
Выходной импульсный ток по каналу №2, А.....до 450
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....до 40
Длительность выходных импульсов напряжения и тока*, мкс...4÷514
Длительность паузы в «дуальном режиме» между окончанием выходного импульса напряжения и
тока первой системы и началом импульса второй системы*, мкс.....-12÷+110
Длительность паузы между выходными импульсами напряжения и тока*, мкс.....20÷4115
Максимальный пиковый ток дугозащиты по каналу №1, А.....до 900
Максимальный пиковый ток дугозащиты по каналу №2, А.....до 450
Максимальное напряжение дугозащиты, В.....до 383
Полное время срабатывания «дугозащиты», не более, мкс.....3
Паразитная энергия «дугогашения» по каналу №1, не более, Дж.....2,4
Паразитная энергия «дугогашения» по каналу №2, не более, Дж.....1,2
Суммарное выходное напряжение в «дуальном режиме», В.....до 2400
Интерфейс внешнего управления: параллельный аналого-цифровой оптоизолированный ±2500В
КПД, не менее.....0,95
Потребляемая от сети электрическая мощность, не более, Вт.....200
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
* - При работе от внешнего генератора
приносим инновации в ваши технологии
Коммутируемая мощность (пиковая), Вт.....23000
Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-1350
Максимальный коммутируемый (пиковый) ток, А.....17
Максимальный средний ток в режиме дугогашения, А.....16
Максимальный средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой скважностью на
максимальной частоте, А.....12
Максимальный средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью на
максимальной частоте, А.....8
Диапазон регулировки частоты, кГц.....2÷40
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....3÷8
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....44
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....35
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....4
Габаритные размеры блока, мм.....380 х 135 х 140
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-62 Гц
Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-1350
Максимальный коммутируемый (пиковый) ток, А.....17
Максимальный средний ток в режиме дугогашения, А.....16
Максимальный средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой скважностью на
максимальной частоте, А.....12
Максимальный средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью на
максимальной частоте, А.....8
Диапазон регулировки частоты, кГц.....2÷40
Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с
регулируемой скважностью, мкс.....3÷8
Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2
Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги»,
мДж.....44
Потребляемая электрическая мощность, Вт.....35
КПД, не менее.....0,98
Масса блока, кг.....4
Габаритные размеры блока, мм.....380 х 135 х 140
Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-62 Гц