Система питания установки
магнетронов распыления «ИВЭ-145D»
магнетронов распыления «ИВЭ-145D»
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ТРЕТЬЕГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
СОСТАВ СИСТЕМЫ
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Системы питания дуальных магнетронов и потенциала смещения
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-278-02SDG» трёхканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током дуального магнетрона распыления при синхронной встречно-параллельной работе входящих в неё двух каналов и подачи с третьего канала «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Система имеет интерфейс внешнего управления «RS-485».
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
Система «ИВЭ-477РS» представляет собой набор источников вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающим на частоте преобразования 35¸45 кГц. Система основана на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых от трёхфазной четырёхпроводной сети 380В/50Гц, и регулируемых посредством двух модулей управления. Преобразование сетевого переменного напряжения в первом канале осуществляется посредством 6-ти одинаковых модулей конверторов мощностью каждый по 1,5 кВт, имеющих в себе корректор коэффициента мощности и расположенных в блоке силовом. Выходное напряжение модулей конверторов -4000В и они все соединены по выходу в канале параллельно. Во втором канале преобразование напряжения сети осуществляется одним модулем конвертора мощностью 0,5кВт, также имеющий в себе корректор коэффициента мощности и расположенный в блоке питания потенциала смещения. Выходное напряжение модуля конвертора +200В. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конвертора подключены к ней через модули сетевого ВЧ фильтра. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления. Преобразование постоянного напряжения с выхода модуля конвертора в пульсирующее однополярное или знакопеременное напряжение с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модуля конвертора, выполняют модули ключа-коммутатора, расположенных в блоках дугозащиты. Блок дугозащиты первого канала формирует отрицательные импульсы выходного напряжения, а блок дугозащиты второго канала – положительные. Координация работы системой между ручным и внешним управлением, а также преобразование уровней и кодов сигналов и команд в ней по каждому каналу осуществляется в двух модулях сопряжения сигналов расположенных в блоке питания потенциала смещения. Формирование длительности выходных импульсов при работе системы осуществляется в модуле формирования импульсов и управления вентиляторами, расположенного в блоке питания потенциала смещения посредством управляющих аналоговых сигналов, поступающих от модуля сопряжения сигналов. Сформированные модулем формирования импульсов и управления вентиляторами импульсы поступают в два модуля управления для их усиления и преобразования их в управляющие сигналы, которые далее транслируются на модуль ключа-коммутатора. Кроме того, модуль формирования импульсов и управления вентиляторами в зависимости от температурного режима модуля конвертора второго канала регулирует скорость вращения крыльчатки электровентилятора в блоке питания потенциала смещения и тем самым стабилизирует его температурный режим. Система имеет модули индикации с 3,5-разрядной цифровой индикацией выходных и «задаваемых-опорных» параметров - напряжения, тока, мощности, длительности импульсов, частоты «микродуг», а также платы светодиодной индикации и регулирования отображающей все режимы работы и, посредством которой осуществляется их выбор. Платы индикации и регулирования и модуль индикации расположены на передней панели блока питания и потенциала смещения. Выбор режимов работы и регулирование выходных параметров осуществляется посредством тумблера, кнопок и осевых регуляторов, расположенных на передней панели блока питания и потенциала смещения. Необходимые вспомогательные (внутренние) напряжения для работы каналов системы формирует модуль сервисного питания также расположенный в блоке питания.
Система питания магнетронов распыления
и потенциала смещения «ИВЭ-278-02SDG»
и потенциала смещения «ИВЭ-278-02SDG»
СОСТАВ СИСТЕМЫ
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Выходная стабилизированная регулируемая мощность, кВт.....от 25 до 500
Выходное стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от +10 до +200
Выходной стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,1 до 3,75
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±2,5
Суммарная длительная нестабильность выходного тока, %, не более.....±2,5
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±2
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3,5
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Длительность импульсов от внутреннего генератора, мкс.....3,3÷16
Скважность импульсов от внутреннего генератора .....0,3÷0,7
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....8
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....2
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели "ИВЭ-477S"
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Выходное стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от +10 до +200
Выходной стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,1 до 3,75
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±2,5
Суммарная длительная нестабильность выходного тока, %, не более.....±2,5
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±2
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3,5
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Длительность импульсов от внутреннего генератора, мкс.....3,3÷16
Скважность импульсов от внутреннего генератора .....0,3÷0,7
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....8
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....2
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели "ИВЭ-477S"
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Зависимость максимально допустимой пиковой коммутируемой выходной мощности от суммы длительностей импульсов.
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ С ПЕРВОГО ПО ЧЕТВЁРТЫЙ КАНАЛОВ
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "МАГНЕТРОНОВ РАСПЫЛЕНИЯ"
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "МАГНЕТРОНОВ РАСПЫЛЕНИЯ"
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-278SD» шестиканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током четырёх магнетронов распыления в однополярном режиме или двух «дуальных» при синхронной встречно-параллельной парной работе входящих в неё четырёх каналов и подачи с пятого и шестого каналов двухполярного «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Система имеет интерфейс внешнего управления «RS-485».
Зависимость максимально допустимой пиковой коммутируемой выходной мощности от суммы длительностей импульсов.
Система питания магнетронов распыления и потенциала смещения «ИВЭ-278-01SD»
Блок дугозащиты и частотной коммутации
«ИВЭ-191DG».....2шт
Блок питания «ОТР и ПС» «ИВЭ-263SM».....1шт
Блок управления двухканальный «ИВЭ-277-05SD».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....2шт
Блок силовой «ИВЭ-176-01».....1шт
«ИВЭ-191DG».....2шт
Блок питания «ОТР и ПС» «ИВЭ-263SM».....1шт
Блок управления двухканальный «ИВЭ-277-05SD».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....2шт
Блок силовой «ИВЭ-176-01».....1шт
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЕРВОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,2 до 3
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -20 до -1200
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,3 до 25
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....35
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....7
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,5
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%*, принудительное воздушное
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности согласно графику:
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -20 до -1200
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,3 до 25
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....35
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....7
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,5
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%*, принудительное воздушное
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности согласно графику:
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,5 до 18,0
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,7 до 31
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....28
Напряжение поджига однополярного режима, В.....-1480÷-1530
Напряжение поджига дуального режима, В.....-980÷-1030КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....16
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-
шиной синхронизации
Переключение однополярный/дуальный режимов работы: автоматизированный, на пускателях с
управлением с передней панели БУ-277 и по внешнему интерфейсу «RS-485»
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,7 до 31
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....28
Напряжение поджига однополярного режима, В.....-1480÷-1530
Напряжение поджига дуального режима, В.....-980÷-1030КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....16
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-
шиной синхронизации
Переключение однополярный/дуальный режимов работы: автоматизированный, на пускателях с
управлением с передней панели БУ-277 и по внешнему интерфейсу «RS-485»
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Система питания магнетронов распыления
и потенциала смещения «ИВЭ-278SD»
и потенциала смещения «ИВЭ-278SD»
Система питания дуальных магнетронов и потенциала смещения «ИВЭ-МРМ»
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт.....от 0,05 до 1,0
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от +5 до +100
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А.....от 0,2 до 15
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....60
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....5
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности согласно графику:
НаверхВыходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от +5 до +100
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А.....от 0,2 до 15
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....60
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....5
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности согласно графику:
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт.....от 0,05 до 1,0
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от +5 до +100
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А.....от 0,2 до 15
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....60
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....5
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности согласно графику:
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от +5 до +100
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А.....от 0,2 до 15
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....60
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....5
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности согласно графику:
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,5 до 31,5
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при высоковольтном режиме, В.....от -90 до
-1250
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при высоковольтном режиме, А*.....от 0,8
до 38
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при средневольтном режиме, В.....от -60 до
-625
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при средневольтном режиме, А*.....от 1,6
до 76
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при низковольтном режиме, В.....от -20 до
-210
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при низковольтном режиме, А*.....от 4,8 до
160
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....54
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,5
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%*, принудительное воздушное
В каталогВыходное напряжение стабилизированное регулируемое при высоковольтном режиме, В.....от -90 до
-1250
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при высоковольтном режиме, А*.....от 0,8
до 38
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при средневольтном режиме, В.....от -60 до
-625
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при средневольтном режиме, А*.....от 1,6
до 76
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при низковольтном режиме, В.....от -20 до
-210
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при низковольтном режиме, А*.....от 4,8 до
160
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....54
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,5
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%*, принудительное воздушное
Блок управления «ИВЭ-177-05DS».....2шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....4шт
Блок вольтдобавки СПДМ "ИВЭ-180-02".....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-193DC".....2шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....4шт
Блок вольтдобавки СПДМ "ИВЭ-180-02".....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-193DC".....2шт
Система питания
потенциала смещения "ИВЭ-477PS"
потенциала смещения "ИВЭ-477PS"
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЕРВОГО И ВТОРОГО КАНАЛОВ СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "МАГНЕТРОНОВ РАСПЫЛЕНИЯ"
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-477PS» двухканальная полумостовая, имеющая гальванически изолированный выход с отрицательной и положительной полярностью выходного напряжения. Система предназначена для подачи стабилизированного биполярного напряжения или тока «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Система имеет оптоизолированный интерфейс внешнего управления «RS-485»
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-МРМ» четырёхканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током дуального магнетрона распыления при синхронной встречно-параллельной работе входящих в неё двух каналов и подачи с третьего канала «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Система имеет интерфейс внешнего управления «RS-485».
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,5 до 13,5
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,7 до 31
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....160
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....21
Напряжение "поджога" разряда, В.....-980÷-1030
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....16
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-
шиной синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушно-жидкосное
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,7 до 31
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....160
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....21
Напряжение "поджога" разряда, В.....-980÷-1030
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....16
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-
шиной синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушно-жидкосное
Система питания дуального
магнетрона распыления "ИВЭ-178DSC"
магнетрона распыления "ИВЭ-178DSC"
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Блок управления трёхканальный «ИВЭ-277SD».....1шт
Блок управления трёхканальный «ИВЭ-277-01SD».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....8шт.;
Блок силовой двухканальный «ИВЭ-274».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-276».....3шт
Блок поджига четырёхканальный «ИВЭ-275».....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-194» (2 х «ИВЭ-193D»).....2шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-294».....1шт
Блок управления трёхканальный «ИВЭ-277-01SD».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....8шт.;
Блок силовой двухканальный «ИВЭ-274».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-276».....3шт
Блок поджига четырёхканальный «ИВЭ-275».....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-194» (2 х «ИВЭ-193D»).....2шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-294».....1шт
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-178DSC» двухканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током дуального магнетрона распыления при синхронной встречно-параллельной работе входящих в неё двух каналов при процессах очистки и нанесения покрытий. Система имеет последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485».
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,5 до 18,0
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,7 до 31
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....28
Напряжение поджига однополярного режима, В.....-1480÷-1530
Напряжение поджига дуального режима, В.....-980÷-1030КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....16
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-
шиной синхронизации
Переключение однополярный/дуальный режимов работы: автоматизированный, на пускателях с
управлением с передней панели БУ-277 и по внешнему интерфейсу «RS-485»
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,7 до 31
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....28
Напряжение поджига однополярного режима, В.....-1480÷-1530
Напряжение поджига дуального режима, В.....-980÷-1030КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....16
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-
шиной синхронизации
Переключение однополярный/дуальный режимов работы: автоматизированный, на пускателях с
управлением с передней панели БУ-277 и по внешнему интерфейсу «RS-485»
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Выходная стабилизированная регулируемая мощность, кВт.....от 0,3 до 9
Выходное стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от -400 до -4000
Выходной стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,1 до 3,38
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1,5
Суммарная длительная нестабильность выходного тока, %, не более.....±2,5
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки во всех режимах, %, не более.....±1,2
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3,5
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на активной нагрузке во всех режимах, % не более.....±3
Длительность импульсов от внутреннего генератора, мкс.....3,3÷16
Скважность импульсов от внутреннего генератора .....0,3÷0,7
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....8
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....30
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....10,6
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели "ИВЭ-477S"
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Выходное стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от -400 до -4000
Выходной стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,1 до 3,38
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1,5
Суммарная длительная нестабильность выходного тока, %, не более.....±2,5
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки во всех режимах, %, не более.....±1,2
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3,5
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на активной нагрузке во всех режимах, % не более.....±3
Длительность импульсов от внутреннего генератора, мкс.....3,3÷16
Скважность импульсов от внутреннего генератора .....0,3÷0,7
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....8
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....30
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....10,6
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели "ИВЭ-477S"
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,5 до 31,5
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при высоковольтном режиме, В.....от -90 до
-1250
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при высоковольтном режиме, А*.....от 0,8
до 38
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при средневольтном режиме, В.....от -60 до
-625
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при средневольтном режиме, А*.....от 1,6
до 76
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при низковольтном режиме, В.....от -20 до
-210
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при низковольтном режиме, А*.....от 4,8 до
160
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....54
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,5
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%*, принудительное воздушное
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при высоковольтном режиме, В.....от -90 до
-1250
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при высоковольтном режиме, А*.....от 0,8
до 38
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при средневольтном режиме, В.....от -60 до
-625
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при средневольтном режиме, А*.....от 1,6
до 76
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое при низковольтном режиме, В.....от -20 до
-210
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый при низковольтном режиме, А*.....от 4,8 до
160
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±3
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±4
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при
выходной мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷60
Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....0÷60
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....240
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....54
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,5
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели БУ-277
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%*, принудительное воздушное
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ С ПЕРВОГО ПО ЧЕТВЁРТЫЙ КАНАЛОВ
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "МАГНЕТРОНОВ РАСПЫЛЕНИЯ
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "МАГНЕТРОНОВ РАСПЫЛЕНИЯ
Блок управления трёхканальный «ИВЭ-277SD».....1шт
Блок управления трёхканальный «ИВЭ-277-01SD».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....8шт
Блок силовой двухканальный «ИВЭ-274».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-276».....3шт
Блок поджига шестиканальный «ИВЭ-275».....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-194» (2 х «ИВЭ-193D»).....2шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-294».....1шт
Блок управления трёхканальный «ИВЭ-277-01SD».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-176».....8шт
Блок силовой двухканальный «ИВЭ-274».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-276».....3шт
Блок поджига шестиканальный «ИВЭ-275».....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-194» (2 х «ИВЭ-193D»).....2шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации двухканальный «ИВЭ-294».....1шт
приносим инновации в ваши технологии
Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-477S».....1шт
Блок силовой «ИВЭ-476».....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-492-01» (канал №1).....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-492-02» (канал №2).....1шт
Блок силовой «ИВЭ-476».....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-492-01» (канал №1).....1шт
Блок дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-492-02» (канал №2).....1шт
ПлазмаТех
Выходная мощность стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,5 до 18
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,6 до 40
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±2
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....200
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....40
Напряжение "поджога" разряда, В.....980÷1030
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....22
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели "ИВЭ-177-05DS"
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности
Выходное напряжение стабилизированное регулируемое, В.....от -65 до -650
Выходной средний ток стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,6 до 40
Суммарная длительная нестабильность выходного напряжения и тока, %, не более.....±2
Кратковременная нестабильность выходного напряжения и
тока при десятикратном изменении нагрузки, %, не более.....±1
Суммарная длительная нестабильность выходной мощности, %, не более.....±3
Уровень амплитуды пульсаций выходного напряжения и тока при выходной
мощности от 20% до 100% на резистивной нагрузке, % не более.....±3
Частота коммутации от внутреннего генератора, кГц.....2÷40
Длительность импульсов в дуальном режиме, мкс**.....7÷40
Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....200
Полное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....2
Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....40
Напряжение "поджога" разряда, В.....980÷1030
КПД, не менее.....0,85
Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....22
Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9
Интерфейс ручного управления: с передней панели "ИВЭ-177-05DS"
Интерфейс внешнего управления: «RS-485» оптоизолированный ±500В с цифровой TTL-шиной
синхронизации
Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное
* максимальные значения обеспечиваются в режиме дугозащиты при постоянном токе
** с уменьшением пиковой коммутируемой мощности
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-144DBCS".....3шт
Блок вольтдобавки СПДМ "ИВЭ180-02".....1шт
Блок питания ОТР и ПС "ИВЭ-263S".....1шт
Блок вольтдобавки СПДМ "ИВЭ180-02".....1шт
Блок питания ОТР и ПС "ИВЭ-263S".....1шт
Зависимость максимально допустимой пиковой коммутируемой выходной мощности от суммы длительностей импульсов.
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
Блок питания источников ионов «ИВЭ-343HS».....1шт
Блок питания магнетрона распыления «ИВЭ-145DS».....4шт
Блок питания очистки тлеющим разрядом и потенциала
смещения «ИВЭ-263».....1шт
Блок ключа-коммутатора «ИВЭ-190».....4шт
Блок поджига «ИВЭ-180».....2шт
Блок питания магнетрона распыления «ИВЭ-145DS».....4шт
Блок питания очистки тлеющим разрядом и потенциала
смещения «ИВЭ-263».....1шт
Блок ключа-коммутатора «ИВЭ-190».....4шт
Блок поджига «ИВЭ-180».....2шт
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных.
ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ "ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ"
Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-278-01SD» восьмиканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током четырёх магнетронов распыления в однополярном режиме или двух «дуальных» при синхронной встречно-параллельной парной работе входящих в неё четырёх каналов и подачи с пятого и шестого каналов двухполярного «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Седьмой и восьмой каналы системы предназначены для питания стабилизированным напряжением или током двух источников ионов типа «Радикал». Система имеет интерфейс внешнего управления «RS-485».