Наверх
Источники вторичного электропитания (ИВЭ) представляют собой преобразователи напряжения с бестрансформаторным сетевым входом и преобразованием электроэнергии на частотах 30-80кГц, имеющие в своем составе корректор коэффициента потребляемой от сети мощности, и состоящие физически из набора функционально-законченных модулей, размещенных в коммутационных крейтах. 

Источники вторичного электропитания основаны на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых сетью от общего трёхфазного или однофазного помехоподавляющего сетевого фильтра, регулируемых посредством модуля управления и нагруженных через выходной модуль защиты-коммутации на нагрузку.

Питание большинства источников вторичного электропитания осуществляется от однофазной сети переменного тока с напряжением 220В -15%\+10% 48-62Гц или от промышленной трёхфазной сети переменного тока с напряжением 380В -15%\+10% частотой 50/60Гц с заземлённой нейтралью, с потреблением от неё, благодаря использованию корректора «коэффициента мощности», почти синусоидального тока. В «обычном» исполнении источники вторичного электропитания предназначены для эксплуатации в лабораторных и промышленных помещениях с температурой воздуха от +5°С до +35°С при относительной влажности до 90%. Питание некоторых видов блоков осущетсвляется от сети постоянного тока 27В, 130210В, 300330В.

Источники имеют 3,5-разрядную цифровую индикацию задаваемых и выходных параметров: тока, напряжения, мощности, частоты, и их регулирование ручным управлением с консоли управления ("КУ"), а также интерфейсами внешнего управления: параллельным оптоизолированным аналого-цифровым или последовательным «RS-485» с цифровой TTL-шиной синхронизации оптоизолированными на ±500В ,  а также светодиодную индикацию всех режимов работы и, соответственно, их выбор с разъёма внешнего управления или ТТL-сигналами. Кроме того, на этот разъём выводится информация о выходных параметрах и режимах работы ИВЭ в вышеуказанных сигналах. Все цепи разъёма «КУ» имеют гальваническую оптоэлектронную развязку до потенциала 1000В, что обеспечивает помехоустойчивое сопряжение ИВЭ с внешней ЭВМ. Имея высокий КПД преобразования электроэнергии (от 85% до 90%), принудительное воздушное или воздушно-жидкостное охлаждение и термозащиту, ИВЭ могут эксплуатироваться без ограничения времени включения при работе на максимальной мощности. Применённые во всех источниках защита от КЗ и входных перенапряжений сети, цепи блокировки по сети и по выходному напряжению, гальванически изолированные от корпуса и питающей сети выходные цепи (на напряжение ±1000В), позволяющие соединять параллельно-последовательно несколько ИВЭ, предоставляют Потребителям возможность создавать специализированные системы электропитания. ИВЭ обладают относительно малым удельным весом (от 2 до 15кг/кВт) и объёмом (от 2,6 до 20л/кВт) для стационарного промышленного оборудования, в силу чего обеспечивают удобство транспортировки и малую площадь размещения, а применённый метод непрерывного ПИД-регулирования выходных параметров позволяет получать высокую длительную стабильность (от 0,1 до 2,5%), малый уровень пульсаций (от 0,2 до 3%), и широкий диапазон регулирования выходных параметров (от 5%Umax, Imax до 100%Umax, Imax). Это в значительной степени позволяет увеличить эффективность работы устройств вакуумно-технологического оборудования и другой электрофизической аппаратуры, обеспечивая воспроизводимость технологических процессов за счёт «жёсткой» стабилизации режимов и расширения области устойчивой работы. 

Источники питания для магнетронов распыления, «потенциалов смещения» и спецприменений имеют встроенные или выносные модули (блоки) частотной защиты-коммутации, оснащённые быстродействующим транзисторным ключом-коммутатором, обеспечивающим отключение конверторных ячеек от нагрузки менее чем за 2мкс при возникновении в ней короткого замыкания («КЗ») либо „дугового режима“. Кроме того, модули обеспечивают «регулируемое» отключение или переключение полярности с частотой от 0кГц до 150кГц с заданной скважностью. Это позволяет использовать устройства, например DС магнетрон, стабильно в режимах реактивного напыления и практически устранить дефекты на изделиях за счёт предотвращения микроразрядов, а также увеличить ресурс мишени. Используя же такой модуль защиты-коммутации для подачи потенциала смещения на карусель с изделиями можно устранять привязки микродуг к ним и обеспечить высокий процент выхода годных, как при напылении дуговыми испарителями, так и магнетронами. ИВЭ с «таким модулем» также можно использовать для индукционного нагрева, плавки, пайки и т.д. 

Блоки питания, имеющие выходную мощность до 12кВт, конструктивно выполнены в 19-ти дюймовых корпусах «Евромеханика» высотой «3U», а более мощные — в виде «Унифицированных модульных систем питания», представляющих собой передвижные стойки, состоящие из нескольких блоков с внутренним модульным исполнением и коммутацией электроцепей с помощью кроссплаты, обеспечивающей быструю замену всех используемых модулей.

Источники вторичного электропитания изготавливаются на заказ сроком 3-5 месяца и могут иметь изменённые характеристики согласно вашему техническому заданию.
ПлазмаТех
приносим инновации в ваши технологии
В каталог